佳能發(fā)售新一代i線(xiàn)步進(jìn)式光刻機(jī)：提升巨大

來(lái)源：中關(guān)村在線(xiàn) 　2023-03-13 19:05:04


(資料圖片)

今天，佳能正式官宣，發(fā)布了最新的i線(xiàn)步進(jìn)式光刻機(jī)“FPA-5550iX”，該產(chǎn)品能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)0.5μm（微米）高解像力與50 x 50mm大視場(chǎng)曝光，該產(chǎn)品可用于全畫(huà)幅CMOS、頭戴顯示器等小型顯示設(shè)備的曝光工序、高對(duì)比度微型OLED顯示器制造等領(lǐng)域。

所謂i線(xiàn)也就是光源來(lái)自波長(zhǎng)365nm的水銀燈，和EUV光刻機(jī)使用的13.5nm波長(zhǎng)激光等離子體光源區(qū)別明顯。

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