盛美半導體設備上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目正式啟動

近日，臨港新片區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)領域不斷傳來好消息。昨天，盛美半導體設備(上海)股份有限公司位于臨港新片區(qū)的上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目正式啟動。12月28日，積塔半導體特色工藝生產(chǎn)線首臺光刻設備搬入臨港工廠，標志著積塔半導體從建設期向生產(chǎn)運營期邁出重要一步，為2020年底實現(xiàn)批量生產(chǎn)打下基礎。

圖說：盛美半導體設備公司正式啟動臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目。主辦方供圖

盛美公司是首家赴美上市的中國半導體設備公司，致力于為集成電路制造業(yè)提供先進的晶圓清洗和濕法加工設備，形成了以清洗機、電鍍機和先進封裝濕法設備為主的產(chǎn)品線。此次啟動的臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項目由盛美上海公司在臨港的全資子公司運營，該項目已納入盛美全球化發(fā)展的整體布局，將建設成為盛美全球主要研發(fā)及生產(chǎn)基地。

上海積塔半導體特色工藝生產(chǎn)線項目是上海市重大工程，總投資359億元。該項目位于臨港裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)，占地面積23萬平方米，建成投產(chǎn)后，將進一步幫助完善臨港與上海打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局，發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集聚效應，加快建設具有國際競爭力的綜合性產(chǎn)業(yè)集群。

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